机游集团于1994年成立办事处，，，，2007年深圳A股上市。。。。济南、、广州、、、、南京、、、、重庆分公司相继设立，，，，子公司浙江汉声、、上海柯茂、、、、香港机游、、、越南机游、、、、韩国机游、、、、浙江柯茂陆续创立。。这一切体现了机游人27年来用汗水辛勤耕耘的成果。。
跨越27年的历史，，，开启全球性企业新未来
用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特点：
IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，，，适用于严苛制程。。
它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。。
机游独特型线设计，，上海，，，，台湾，，制造。。
较之前的版本节能25%，，配置有省电模式。。。
带有加热系统避免制程物沉积。。
优化的尺寸，，即插即用。。。
产品样本和技术手册
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2021-08-17
产品外观图
